Awọn ifọwọyi igbale ni a lo lati gbe tabi ipo wafer tabi awọn ohun kan ni awọn iyẹwu igbale pataki ati fun awọn ohun elo mimu ohun elo. Wọn pese irọrun ti o pọ si nitori awọn ọna asopọ kosemi ko lo. Diẹ ninu awọn ifọwọyi igbale pẹlu awọn ẹrọ iṣagbesori tabi awọn ipa-ipari. Awọn miiran pẹlu awọn titiipa fifuye ati awọn igi wobble. Nigbagbogbo, awọn ifọwọyi igbale ni a lo ni apapo pẹlu awọn iyẹwu igbale. Awọn olutọju wafer tabi awọn roboti jẹ adaṣe adaṣe ti awọn olufọwọyi igbale fun gbigbe awọn wafers tabi awọn sobusitireti sinu tabi jade kuro ninu PVD, CVD, etching plasma tabi awọn iyẹwu sisẹ igbale miiran. Lati ṣẹda iyẹwu igbale, ọkọ ayọkẹlẹ igbale tabi mọto inu-afẹfẹ ni ti ara ti nfa afẹfẹ lati inu ọkọ titi ti titẹ iha-oju aye ti o fẹ yoo waye. Ti iyẹwu igbale naa ba ni igbale giga-giga kan, lẹhinna afọwọyi igbale giga-giga ati mọto igbale giga-giga gbọdọ ṣee lo.
1. Apẹrẹ alailẹgbẹ ti ọmu le jẹ ki ohun naa dide tabi ṣubu ni ifẹ, ṣugbọn tun yiyi ni eyikeyi itọsọna ti ijoko ti o wa titi ti sucker lati jẹ ki iṣẹ naa rọrun ati deede. Apẹrẹ isakoṣo latọna jijin mu irọrun wa si iṣiṣẹ ati ṣe idaniloju aabo awọn olumulo.
2. Dimole ti ẹrọ ifasilẹ igbale gba awo imudani ti a ko wọle, pẹlu agbara adsorption ti o lagbara, ailewu giga ati aabo awọn ọja lati ibajẹ.
3. Kireni igbale le ni irọrun gbe awọn ohun kan pẹlu ẹlẹgẹ, nira lati gbe soke, ati dada didan lati mu ilọsiwaju ṣiṣẹ, dinku agbara iṣẹ ati ṣafipamọ awọn idiyele ile-iṣẹ.